COMSOL仿真三维CCP的问题

Danjidad

根据官网了解到COMSOL是没办法做三维CCP仿真的，但是通过等离子体模块跟电路模块耦合不知道是否可行
PS:搭建了一个CCP案例(argon_gec_ccp)一样尺寸的三维模型，相同条件下计算出的结果差异很大，这其中的主要区别是什么，想请教一下社区的大佬